采用由四探針雙電測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱結(jié)合配置的高溫測(cè)試探針治具，滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的測(cè)量要求，通過(guò)先進(jìn)的測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
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