簡要描述:半導體電阻率測試儀適用范圍:1.覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試
半導體電阻率測試儀操作手冊
功能描述Description:
參照標準:
1.硅片電阻率測量的標準(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法:
利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數據進行雙電測分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,適用于斜置式四探針對于微區的測試
規格型號/ model
FT-341
FT-342
FT-343
FT-345
FT-346
FT-347
1.方塊電阻
10-5~2×105Ω/□
10-4~2×105Ω/□
10-3~2×105Ω/□
10-3~2×104Ω /□
10-2~2×105Ω/□
10-2~2×104Ω/□
2.電阻率
10-6~2×106Ω-cm
10-5~2×106Ω-cm
10-4~2×106Ω-cm
10-4~2×105Ω-cm
10-3~2×106Ω-cm
3.測試電流
0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,10mA,100mA
1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
0.1μA.μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
0.1μA、1μA、10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.電流精度
±0.1%
±0.2%
±0.3%
±0.3% accuracy
5.電阻精度
≤0.3%
≤0.5%
≤0.5% accuracy
6.顯示讀數
屏液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式
雙電測量
8.電源
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.誤差
≤3%(標準樣片結果)
10.選購功能
選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻
11.測試探頭t
探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針
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